，门缝处夹了一个塑料袋；
另一种情况是舱体内蒸镀残留物过多，需要清理。”
虽然系统里也有影像资料供许学习，但他觉得还是听学姐讲解更好一些。
主要是两个人站一起，一直不互动也蛮尴尬的。
……
一小时后。
真空计示数达到52e-5帕，升温程序也进入第二阶段，一切正常。
十二分钟后。
温度示数达到400摄氏度，膜厚仪显示的实时蒸镀速率，在-001至001埃每秒之间波动，膜厚显示仍为000埃。
三分钟后。
温度示数继续增加，直至480摄氏度左右，蒸镀速率开始在000至003埃每秒之间波动。
当温度达到520摄氏度后，蒸镀速率维持在020至030埃每秒。
许先开启样品台旋转，在等待了约十秒钟后，同时打开样品挡板并将膜厚仪的膜厚计数器归零。
钙要蒸镀10纳米的厚度，也就是100埃。
……
待膜厚仪示数达到100埃时，许迅速关闭样品挡板。
随后，他将束源炉升温数控装置关闭，让束源炉自然降温。
最后，将膜厚仪的参数改为铝的参数。
……
半小时后。
束源炉的温度降低至77摄氏度。
许关闭钙的束源炉挡板，打开电流
第二十一章 真空镀膜（下）(4/6)