题叫我。”陈婉清道。
进入实验室，许看到吴菲菲站在蒸镀控制台前，似乎在检查设备。
“哪里出问题了？”许道。
“不清楚，我检查过循环水和空气泵均处于启动状态。
我也纳闷怎么会有警报声呢？”
吴菲菲说完，像是发现了什么，说道:
“等下，这里不对，分子泵过热保护？
还是头一次出现这种情况。”
许也凑过去，他看到分子泵模块的面板上显示“警告，分子泵过热保护”，同时分子泵的转速为0。
再看向上方的气压计，现在是32e-3帕，并且数值在缓慢增大。
这样看来是分子泵停止工作，只余下机械泵在工作，无法维持蒸镀舱内的真空度。
他想了想，说道：
“吴菲菲，先把设备关闭吧，我们再来排查原因。”
吴菲菲依次关闭了分子泵、机械泵和蒸镀机器的电源，警报声终于停了。
许分析道：
“刚才提示的是分子泵过热保护，那有可能是散热的问题，会不会是循环水系统出现了问题呢？”
“有道理，可是循环水系统已经启动了啊。”吴菲菲道。
“这样吧，我先到里面看看。”许道。
循环水系统的原理很简单，它的主体是一个储水罐，内部有冷却装置，可以降低水温，还有一个进水口和一个出水口，分别引出一
第七十一章 仪器故障（上）(3/5)