清洗和再生。
清洗的话,就是单纯的把手套箱里面的气体持续排出到大气,同时补新的氮气进来。
这个过程还是比较耗费氮气的,一瓶高纯氮是一百块钱,一般也就能清洗30分钟左右。
平常的清洗操作,再加上其他氮气损耗,实验室两个手套箱,一个月一般会消耗掉10瓶到20瓶的高纯氮气。
用到清洗的情况一般有两种。
一种是手套箱因为手套破了、传送舱使用不当、压力过高顶开保护阀门等原因导致空气进入手套箱内,使得手套箱内部氧含量过高,比如大于100pp。
这就需要长时间的清洗,比如五到十分钟,把手套箱内的氧含量降低到几十pp,然后再让手套箱自我循环,把氧含量降低到较低的水平,比如小于10pp。
另外一种,就是在制备器件旋涂有效层之前,清洗三到五分钟,给手套箱内部的气体“换一换血”,以期得到一个比较纯净的氮气氛围。
这种做法是有一些效果,但算是治标不治本。
因为随着手套箱使用时间的变长,很多有机溶剂会吸附在手套箱内的各种表面上,比如过滤网,单纯的清洗换气并不足以让它们被去除掉。
表现出来的现象,就是手套箱用久了,氧含量会维持在10pp以下。
这个时候,就要用到再生的方法,来让手套箱“重新活过来”。
具体采用的方式,是对手套箱体内容易吸附有机溶
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