475 比自己弱的人都在努力,自己又有什么理由不努力呢?
这几天摸索下来,许通过se等表征手段,发现搬家确实会对蒸镀设备造成影响。
具体来说,就是将原先邯丹材一216实验室的条件,用于现在江弯先材522实验室的蒸镀设备,最终制备出来的薄膜实际厚度,平均会变厚10-20。
背后的原因,许很快就找到了,主要是因为蒸镀检测膜厚的原理是间接法——
在蒸镀过程,蒸镀舱间有一个晶振片,靶材分子受热从下方的束源炉或者电加热装置扩散出来,沉积到晶振片上,形成实时的电流信号,仪器将电流信号转化为蒸镀速率信号,然后通过积分计算出实时膜厚。
受到重力的影响,晶振片距离束源炉或者电加热装置垂直距离越远,单位时间内收集到的扩散出来的靶材分子数量就越少。
如果晶振片的位置偏向标准位置的下方,也就是靠近束源炉或者电加热装置,就会导致检测到的蒸镀速率大于实际的蒸镀速率,从而使得实际膜厚偏薄。
很容易理解,假如实际蒸镀速率是02埃每秒,显示蒸镀速率是04埃每秒,预期蒸镀膜厚是20埃,蒸镀50秒后,按照仪器显示的话,就已经达到了20埃的厚度,但实际上的厚度却只有10埃。
反之亦然。
因此,当下的情况就是在搬运的过程,可能发生了震动,使得晶振片的位置偏向了标准位置的上方。
出现了问题,就要调整。
现在主要有两种调整方法。
475 比自己弱的人都在努力,自己又有什么理由不努力呢?(3/13)