”
“首先我认为,我们这次工程流片之所以会出现大批不能读写的次品,良品率极低,主要原因虽然有湖研院目前的0.35微米实验制程不成熟,但再怎么不成熟,良品率也不能这么低,真正搞出次品的原因是因为我们的埋入晶圆的栅极扩散层形态异常。”
会议室里大家都松了口气,尤其是目前正在攻关实验室0.35微米制程的工程师们,都觉得胡一亭这句话实在是对他们的最大安慰。
“大家看这张电镜探伤图,左边是这次的良品,右边是这次的不合格品,左边正常形态下的埋入层扩散结构和右边的区别是很明显的,我知道大家现在一定在想,为什么会出现右边这些次品?
问题出在哪呢?我来告诉大家,根据我的判断,这是因为我们扩散层离子注入时,因为注入机的真空度不够,从而引起埋入扩散层的氧化膜厚度中间薄周边厚,薄的部分隔离差,造成中间漏电。”
台下工程师们有的表情恍然大悟,有的则是兴奋地点头,表示不出所料,胡一亭的判断和他们一样。
胡一亭继续道:“这个问题我不展开细说,前段时间我不在,做坏了情有可原,反正总算还锻炼了队伍,提高了大家攻关克难的经验,我认为失败也是好事,给了我们总结的经验嘛,要是不出事,我倒觉不好,那样一来大家反而什么都学不到。”
胡一亭继续道:“之前经过奚所与长沙光电设备研究所也就是电科48所紧急协调,他们立刻派了团队,并带来
第519章 顶级制程科学家(2/5)