有趣。
许发现,当放置时间达到3小时时,最高效率就已经提升到了1658。
之后延长放置时间,从6小时、到9小时,再到12小时,效率变化的幅度并不大,就是002、003左右,这样缓慢提升着。
再之后,继续延长放置时间,效率下降的幅度同样不大,也是002、003左右,可以认为是效率在短期内已经趋于了稳定。
同时,“放置变好”这个现象也不是对所有体系都适用的。
许一共研究了十七种标准体系,发现其只有五种体系,存在“放置变好”的实验现象,另外有八种体系是“放置变差”,还有四种体系是“放置不变”。
他试着给“放置变好”、“放置变差”以及“放置不变”的体系分别归了归类,然后发现:
“放置变好”、“放置变差”的体系,大多是有效层旋涂后,没有经过退火的体系,“放置不变”的体系,大多是经过退火处理的体系。
退火这项实验操作,主要影响的是有效层旋涂过后残存的溶剂含量,如果不退火的话,沸点100多摄氏度的氯苯,以及沸点更高,可达200摄氏度以上的溶剂添加剂dio等肯定会有所残留。
因此,许认为“放置变好”、“放置变差”、“放置不变”这些实验现象,背后可以归因于:
在蒸镀舱的真空环境下,器件内残存溶剂挥发对有效层形貌的影响。
对于氯苯、dio这些溶剂来说
465 连续突破,剑指17%!(9/12)